Domov - Výrobky - Polo vodiči - Kremeň - Podrobnosti

Substrát s kremeňom

Substráty zvalových doštičiek sú vyrábané primárne z vysokokvalitného kremeňa (SIO₂), široko používané v polovodičoch, optoelektronikách, mikroelektromechanických systémoch (MEMS), optických zariadeniach a ďalších poliach. Nižšie je uvedený podrobný úvod do substrátov zboru Quartz

Zaslať požiadavku

Popis

Vlastnosti materiálu

(1) Vysoká čistota: Typicky vyrobená zo syntetického kremeňa (napr. Fúzovaného oxidu kremičitého), s extrémne vysokou čistotou (väčšia alebo rovná 99,99%) a minimálnymi nečistotami, aby sa zabránilo ovplyvňujúcemu výkonu zariadenia.
(2) Tepelná stabilita: Nízky koeficient tepelnej expanzie (≈0,55 x 10⁻⁶/ stupňa) a vysoký teplotu odporu (bod zmäkčenia ~ 1600 stupňov), vhodný pre procesy vysokej teploty.
(3) Optický výkon: široký rozsah prenosu (UV až IR), s výnimočnou priepustnosťou UV, ideálny pre fotomasky, šošovky atď.
(4) Chemická inerta: odolná voči kyselinám a alkálii (okrem kyseliny hydrofluorovej), vhodná na procesy leptania mokra.
(5) Electrical Insulation : High resistivity (>10⁶ Ω · cm), ideálne na izoláciu substrátov alebo vysokofrekvenčných zariadení.

Žiadosti

Výroba polovodičov

Substráty fotomaskov

EUV litografické komponenty

Nosiče spracovania oblátok

Fotonika a optoelektronika

Optické vlnovodové substráty

Laserová montáž

Kvantové výpočtové komponenty

Špeciálne

MEMS rezonátor základne

Optika vesmírneho teleskopu

Vysokoenergetické laserové systémy

Výrobný proces

① Syntéza surovín: produkovaná ukladaním pár (napr. Sicl₄ oxidáciou) alebo čistením prírodného kremeňa.
② Topenie a formovanie: Vysokoteplotné topenie nasledované ochladením na ingoty alebo priamym kreslením na tyče.
③ Rezanie: nakrájané na tenké doštičky pomocou diamantových drôtových píl alebo laserového rezania.
④ Brúsenie a leštenie: Chemické mechanické leštenie (CMP) dosahuje hladkosť na úrovni nanometrov.
⑤ Čistenie a kontrola: odstránenie častíc a kontaminantov kovov, po ktorých nasleduje defekt a testovanie parametrov.

Vlastnosti

Fyzické vlastnosti	Hodnota
Čistota	＞99.99%
Hustota	2,2 g/cm³
Priehľadnosť	＞90%
Mohs tvrdosť	5.5--6.5
Deformácia	1280 stupňov
Zmäkčenie	1750 stupňov
Žíha	1250 stupňov
Špecifické teplo (20 - 350)	670J/kg. stupeň
Tepelná vodivosť (20 stupňov)	1,4 W/m. stupeň
Tepelná vodivosť (w/mk, 1000 stupňov)	1.0-1.2
Index lomu	1.4585
Koeficient tepelnej expanzie	5.510 ^-7CM/CM. stupeň
Horúca - pracovná teplota	1750 ~ 2050 stupňov
Krátka - termínovaná prevádzková teplota	1450 stupňov
Dlhá - termínovaná prevádzková teplota	1100 stupňov

Chemické vlastnosti	Hodnota
Odolný voči kyseline	Silná kyselina (okrem HF), silný alkalický, organický roztok
Vysoké teploty odolné voči korózii	Vynikajúci
Obsah nečistoty kovu	＜ 5 ppm

Elektrické vlastnosti	Hodnota
Odpor	710⁷Ω.cm
Izolačná sila	250 ~ 400 kV/cm
Dielektrická konštanta	3.7~3.9
Dielektrický absorpčný koeficient	＜410-4
Koeficient dielektrickej straty	＜110-4

Mechanické vlastnosti	Hodnota
Pevnosť	1100 MPA
Ohybová sila	67 MPA
Pevnosť v ťahu	48 MPA
Poissonov pomer	0.14~0.17
Youngov modul	72000MPA
Šmykový modul	31000 MPA